通常由滅菌室、真空系統(tǒng)、過(guò)氧化氫注入系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成,還可以配置等離子體發(fā)生裝置。工作原理是通過(guò)汽化的過(guò)氧化氫對(duì)滅菌室內(nèi)物品進(jìn)行作用,使微生物蛋白質(zhì)和遺傳物質(zhì)變性從而導(dǎo)致微生物死亡,以達(dá)到滅菌的目的。若配置有等離子體發(fā)生器,可通過(guò)等離子體發(fā)生器使汽化的過(guò)氧化氫形成過(guò)氧化氫等離子態(tài),結(jié)合過(guò)氧化氫氣體及過(guò)氧化氫等離子體對(duì)滅菌室內(nèi)物品進(jìn)行低溫滅菌。